1)真空泵性能下降，真空泵油被污染。如发现油位下降及油产生乳化现象，应立即增加油量或更换真空泵汕，并查明被污染的原因，若真空泵吸人少量水分，可打开气镇阀0.5-1h，观察真空泵油外观是否改善，真空度是否继续下降，如果多次更换真空泵油元明显改善，需要对真空泵进行检修。
2)系统气密性下降，出现泄漏。查找漏气点，找到漏点后，进行补漏、更换密封圈或更换阀门。